大硅片厚度检测系统TWS-300P
TWS-300P
2023-08-30
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TWS300P晶圆形貌量测系统。设备配备高精度电容传感器和智能算法,精确测量晶圆的厚度、翘曲度(WARP)、弓曲度(BOW)及厚度变化(TTV/LTV)。还可集成魔镜,电阻率,P/N,多功能测量需求。