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大硅片厚度检测系统TWS-300P
TWS-300P
2023-08-30
阅读量: 2542
TWS300P晶圆形貌量测系统。设备配备高精度电容传感器和智能
算法,精确测量晶圆的厚度、翘曲度(
WARP)、弓曲度(BOW)及厚度变化(TTV/LTV)。还可集成魔镜,
电阻率,
P/N
,多功能测量需求。