高精度晶圆平坦度量测系统FST200
FST200
2026-02-05
阅读量： 9 FST系列采用激光干涉技术是一款高精度晶圆平坦度量测系统，主要应用于化合物衬底和外延的质量监控。以纳米级精度，快速收集超过400万个数据点，完成对晶圆的厚度、翘曲度（WARP）、弓曲度（BOW）及厚度变化（TTV）及局部的LTV、LTIR、SFQR等关键参数的测量
电话：176 2137 2945 宋经理
地址：宁波市余姚市缪云线千人计划产业园1号楼
上海市闵行区浦江科技广场21号楼B202
邮箱：