晶圆缺陷检测WIM300P
WIM300P
2023-09-02
阅读量： 2172该系列设备应用于晶圆表面缺陷检测，具备缺陷计数、分类等功能，支持明场/暗场多种检测方式。设备通过样片台的多维运动实现样品表面的快速扫描，搭载智能AI算法进行深度学习。
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