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2D/3D缺陷检测系统WIN300
WIN300
2026-02-05
阅读量: 11
该系列设备应用于Bump工艺中对晶圆
进行
2D/3D
缺陷检测
具备缺陷计数、分类等功能,支持明场
/暗场多种检测方式。设备通过样片台的多维运动实现样品表面的快速扫描,搭载智能AI算法进行深度学习。